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包头专业电子束真空炉设备

根据电子束流的产生原理，电子束加工具有如下特点：1)电子束发射器发射的电子束流束斑极小，且可控，可以用于精密加工；2)对于各种不同的被处理材料，其效率可高达75%一98%，而所需的功率则较低；3)能量的发生和供应源可*确地灵活移动，并具有高的加工生产率；4)可方便地控制能量束，实现加工自动化。设备的使用具有高度灵活性，并可使用同一台设备进行电子束焊接、表面改善处理和其他电子束加工设备。电子束加工是在真空状态下进行，对环境几乎没有污染。电子束加工对设备和系统的真空度要求较高，使得电子束加工价格昂贵，一定程度上限制了其在生产中的应用。

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电子束熔炼炉一般由6部分组成：(1)电子枪：电子枪是电子束熔炼炉的心脏。它包括枪头(一般由灯丝、阴极、阳极等组成)、聚焦线圈和偏转线圈等。电子枪按其结构形式可分为轴向枪(或称皮尔斯枪)、非自加速环形枪、自加速环形枪及横向枪。电子枪的数量有单枪、双枪和多枪等；(2)进料系统：如果原料为预制好的自耗电极时，一般采用纵向或横向机械进料方式:如果原料为屑、块或顺粒状时，则采用给料仓的方式；(3)铸锭系统：包括结晶器、拉锭机构和出锭机构等；(4)真空系统：包括真空机组、真空室、真空管道及阀门和真空测量系统等；(5)电源系统；包括主电源(电子枪电源)及控制电源和操作电源等；(6)冷却系统：包括全部冷却用水及管道阀门等 。

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电子轰击炉，利用加速的电子流轰击物料，使物料加热的一种电炉，加热温度可达约3500℃，具有调节控制方便，已广泛用于金属提纯，单晶硅的生长，特种材料的熔炼和高温X射线衍射仪的加热装置等。用高速电子轰击物料使之加热熔化的电炉。在真空炉壳内，由阴极电子枪发射电子，电子束受加速阳极的高压电场的作用加速，轰击位于阳极的金属物料，使之发热熔化，滴入水冷铜结晶器中凝固成锭。整个密闭炉体由电子发射系统、真空系统以及金属熔炼系统构成。由于电子束可经电磁聚焦装置高度密集，所以可在物料受轰击的部位产生很高的温度。电子束炉适合于熔炼高熔点、高纯度的金属，如W、Mo、Ta、Nb等。

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能够通过磁场或电场对电子束的强度、位置、聚焦进行直接控制。位置控制的准确度可达015m左右，强度和束斑的大小控制误差也易达到1%以下。通过磁场或电场几乎可以无惯性、无功率地控制电子束便于采用计算机控制实现加工过程自动化。由于电子束加工是在真空中进行，因此污染少加工点处能保持原来材料的纯度适合于加工易级化的金属及合金材料，特别是要求纯度极高的半导体材料。电子束加工需要一套价格昂贵的专用设备，加工中心成本高。

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等离子冷妒床熔炼法(筒称PCHM法) PCHM法利用惰性气体电离产生的等离子弧作为热源，可在从低真空到近大气压很宽的压力范围完成熔炼。该方法显着特点是可保证不同蒸气压的合金组分，在熔炼过程中无明显的烧损 ，同样可消除HDI和LDI冶金缺陷。该方法具有提供改进传统台金属性的能力，可实现多元化合金的熔炼，是一种较传统熔炼方法经济的熔炼法。采用该方法熔炼，对于钛及钛合金来说，一次熔炼就可以得到理想的铸锭。现代PCHM 法优势在于：(1)设备投资低，易操作，安全可靠;(2)可以使用不同种类和形态的原料，残料回收率高;(3)保证多元化合金的化学成分;(4) 实现了价格昂贵的惰性气体回收再 利用，降低了生产成本。PCHM法缺点为电效率较低。