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电子束轰击炉是利用高速运动电子的能量来加热材料，又称为电子轰击加热器。其原理类似于一个二极管，通过热电发射的方式获得初速度的电子，在2 kV以上的高电压降作用下向试样加速，并用电磁方法或静电透镜使电子束朝着试样聚焦。使被加热区的温度≥3500℃。用电子轰击加热需要在发射器和试样之间产生受控制的电流。这只有在真空中才能够实现（实际中，这一过程只有存*对压强<10-3mmHg时才可行）。
电子轰击加热器的工作原理，其中低电压加热发射器一般用钨丝构成，其上施加负电位。与加热发射器相比，试样处于正电位（通常接地），因此电子向着试样表面加速，并将电子动能转变为热能来加热试样，该装置比较适用于加热面积较大的试样；它是用一个金属屏（聚束极）环绕在加热发射器灯丝的周围来控制加热面积，而且金属屏与灯丝保持等电位。这样，一束定向的电子流就可以穿过聚束极上的孔洞而冲向试样；更为先进且应用较广的电子源设备相同的装置中发射出来后亚新app官网极（通常接地）加速，这些电子通过阳极的孔洞后形成电子束，并用电磁方法或静电透镜来聚焦，也可以用电磁场或静电场来控制电子束的偏转。
灯丝、聚束极与阳极的大小、形状及位置都很重要，例如，只需调节通过聚焦线圈的电流，电子束的加热面积就能改变至100倍以上。因此，即便是使用同一装置，也可以有效地加热1～100 mm2（甚至更大）的面积。调节偏转线圈中的电流也能够改变电子束的方向，从而*确地选择被加热区域。电子束功率可以通过改变加速的电压或通过改变阴极发射的方法来调节。
