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电子束熔炼的工艺特点是在高真空环境下进行熔炼(熔炼真空度一般在10-1至10-3Pa)，熔炼时熔池的温度及其分布可控，熔池的维持时间可在很大的范围内调整；熔炼是在水冷铜坩埚(结晶器)内进行的，可以有效地避免金属液被耐火材料污染。因此可以说，电子束熔炼为一些金属材料、特别是难熔金属提供了一种不可缺少的精炼手段。
熔炼用炉应用Z多的电子束炉，主要用于特殊钢及合金、特别是难熔金属。
区域精炼炉这种炉子主要是用电子束将金属料棒局部加热熔化形成熔区来达到精炼的目的。因此种炉子无结晶器，故又称为无坩埚悬浮区域精炼炉。它主要用于获取高纯金属。
电子束凝壳炉这种炉子的结构和真空凝壳炉相同，它是在电子束熔炼炉的熔炼室内加入一套铸造系统，用于真空铸造，主要是钛及钛合金的真空铸造。
多用途电子束熔炼炉德国公司发明了这种多用途电子束熔炼炉，即电子束连续流熔炼或电子束冷床熔炼炉。主要用于生产高纯特殊钢、镍基和钴基高温合金，用海绵钛及废钛生产纯钛锭和用直接滴流法生产难熔、活泼金属及其合金。
